製品情報PRODUCT INFORMATION

KDT独自の技術により円形などの形状に倣って液がウェハーのみに塗布し且膜厚測定機を搭載して、均一に塗布する画期的な多機能スリットコーターを開発しています。
設計から製造までを行う塗布装置専門メーカーならではの技術を幅広いジャンルの製造工程にご提供致します。

ベースになるテクノロジー
金属箔などにコーティングする技術を基に、LCD用ダイコーターの技術を活用した製造ノウハウを確立しました。

確かな技術で鍛え上げた
匠の技を活かした装置造り

これまでの経験を活かした業ありの塗布装置造りを提供致します。
高粘度対応スリットコーター、スプレーコーター、その他、お客様のニーズに合わせた最適な提案で幅広いジャンルでコーターの受託サービスも行っております。
特許技術を搭載した薄板への画期的な搬送形態、アイデアノズルによる塗布技術

  • 確かな技術で鍛え上げた匠の技を活かした装置造り
  • 官・産・学 共同開発プロジェクトに参加中
確かな技術で鍛え上げた匠の技を活かした装置造り

特許技術を駆使した
画期的なノズル制度の実現による塗布技術

01取得特許を駆使しお客様のあらゆるニーズに対応。
KDTのコーターは塗布液をスリット形状の塗布ノズルからインキを吐出、移動させながらステージ上のワーク表面に均一な膜厚で塗布することが可能です。
02自社の優位性を打ち出し、アドバンテージをもたらす。
低粘度に優れたチューブフラムポンプ送液方式を採用。テーブルとノズルの平行出しは自動調整な為、ノズル交換時の微調整に時間がかかりません。
03不可能を可能にしてきた技術のノウハウを放出。
お客様の製品仕様に合わせて最適構造(独自の流体解析・低圧損設計による高性能スリットノズルを搭載)により低価格提案をさせて頂きます。
特許技術を駆使した画期的なノズル制度の実現による塗布技術

当社のノズル精度【ノズルを制する者がスリットコーターを制する】

超精密加工ノウハウの蓄積技術により他に類を見ない脅威的な均一性ノズルを提供します

間隙(マイクロスコープ) 従来品 当社製品

画期的なノズル精度の実現

Pomp Slit Nozzle Weffer Meniscace

負極材の材料コーティングは
国立研究開発法人 物質・材料研究機構と共同開発。

Capillary coaterは従来のスリットコーターが四角形のガラス基板のみに塗布する事に対して、シリコンウェハーにも、薬液の無駄がなくワークのみに塗布できる画期的なコーターです。

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